電子行業(yè)對(duì)超純水有極高的純度要求,因?yàn)榧词故俏⑿〉碾s質(zhì)也會(huì)對(duì)電子元件的制造和性能產(chǎn)生負(fù)面影響。電子超純水的純度高達(dá)18.2 MΩ*cm,其標(biāo)準(zhǔn)包括以下幾個(gè)方面:
電阻率或電導(dǎo)率要求:電子超純水的電阻率通常在18.2兆歐/厘米(或更高)范圍內(nèi)或電導(dǎo)率在0.055微西門子/厘米(或更低)范圍內(nèi),以保證水的極高純度。
微生物限制:要求水不含任何細(xì)菌、病毒或其他微生物,以確保其高純度。
顆粒物限制:要求水中不含任何微小顆粒物,以確保在生產(chǎn)過程中不被破壞。
化學(xué)成分限制:對(duì)任何溶于水的化學(xué)物質(zhì)都有嚴(yán)格的限制,特別是對(duì)電子物體有影響的金屬離子等有害物質(zhì)。
pH值控制:電子超純水需要保持中性或非常接近中性,通常在6.5到7.5之間。
電子級(jí)超純水對(duì)微電子元器件的質(zhì)量和性能有著至關(guān)重要的影響,因此在生產(chǎn)過程中必須嚴(yán)格控制其質(zhì)量和純度。生產(chǎn)符合國際標(biāo)準(zhǔn)的電子級(jí)超純水,可以提高電子元器件的生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品質(zhì)量,為電子行業(yè)的發(fā)展奠定堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。